Tungsten Hexafluoride CAS: 7783-82-6 WF6
Alta pureza 99.999% 5n material semiconductor
Introducción del producto
El hexafluoruro de tungsteno es un tipo de gas incoloro a temperatura ambiente, es fuerte picante, tóxico y similar a la toxicidad del flúor, su fórmula molecular es WF 6 y el peso molecular es 297.830, el punto de ebullición es 17.5 ℃ y el punto de fusión es 2.3 ℃. El hexafluoruro de tungsteno se puede disolver en solventes orgánicos y descomponerse en agua, también se descompone por humedad en el aire y luego fuma fuertemente. Su propiedad química está activa y puede reaccionar con casi todos los metales (excepto el oro y el platino) y corroye el níquel, las aleaciones de Monel y el acero inoxidable. El hexafluoruro de tungsteno es el único producido de manera constante e industrial entre el fluoruro del tungsteno, y se utiliza como la materia prima del proceso de deposición de vapor químico (CVD) de tungsteno en la industria electrónica, que es su campo de aplicación principal. En particular, WSI 2 hecho de WF 6 se puede usar como material de cableado en circuito integrado a gran escala (LSI).
Especificación de calidad
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Items
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Units
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Index
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Index
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Index
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Tungsten hexafluoride≥
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Vol.%
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99.9
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99.999
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99.9995
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Carbon tetrafluoride（CF4）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Nitrogen（N2）≤
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Vol.ppm
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50
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1
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0.5
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Oxygen+ Argon（O2+Ar）≤
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Vol.ppm
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50
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0.5
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0.5
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Carbon dioxide（CO2）≤
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Vol.ppm
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-
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0.5
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0.5
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Carbon monoxide（CO）≤
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Vol.ppm
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-
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0.5
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0.5
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Sulfur hexafluoride（SF6）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Silicon tetrafluoride（SiF4）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Hydrogen fluoride（HF）≤
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Vol.ppm
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800
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1
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1
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Solicitud
El hexafluoruro de tungsteno se puede utilizar como la materia prima del proceso de deposición de vapor químico (CVD) de tungsteno en la industria electrónica, también se puede usar como electrodo semiconductor y pasta conductora. Además, el hexafluoruro de tungsteno se usa ampliamente como fluridizador, catalizador de polimerización y materia prima de materiales ópticos.
Embalaje 、 Almacenamiento
El hexafluoruro de tungsteno se almacena en cilindros estándar sin costuras, las especificaciones de embalaje incluyen 8L, 44L y 47L respectivamente. Las especificaciones de empaque específicas se pueden personalizar de acuerdo con los requisitos del usuario. El hexafluoruro de tungsteno se almacena en un almacén sombreado, seco y ventilado lejos de la fuente de fuego y calor. El área de almacenamiento debe estar equipada con equipo para emergencia.
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