Hexafluoroetano CAS: 76-16-4 C2F6 Hight Pureity
99.999% 5n para gases grabador semiconductores
Introducción del producto
El hexafluoroetano (C 2 F 6 ), también conocido como perfluoroetano, es una especie de gas inerte incoloro, inodoro y no inflamable. A temperatura y presión normales, su punto de fusión es de 100.6 ℃, el punto de ebullición es 78.2 ℃, ligeramente soluble en agua. El hexafluoroetano se produce mediante la reacción de R125 y gas fluorino, luego obtuvo productos de grado electrónico después de la purificación y la rectificación. Debido a su estabilidad no tóxica, inodoro y alta, el hexafluoroetano se usa ampliamente en el proceso de fabricación de semiconductores. El hexafluoroetano, como grabado seco, tiene las ventajas del grabado muy pequeño en el lado del borde, la alta tasa de grabado y la alta precisión, que pueden cumplir con los requisitos del proceso de fabricación de semiconductores para un pequeño ancho de línea.
Especificación de calidad
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Items
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Unit
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Indexs
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C2F6
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Vol.%
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≥99.999
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O2+Ar
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Vol.ppm
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＜1
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N2
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Vol.ppm
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＜5
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CO
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Vol.ppm
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＜0.5
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CO2
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Vol.ppm
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＜0.5
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H2
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Vol.ppm
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＜0.5
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Halohydrocarbon
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Vol.ppm
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＜5
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CH4
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Vol.ppm
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＜1
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H2O
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Vol.ppm
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＜2
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Acidity（Measured by HF）
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Wt. ppm
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＜0.1
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Total impurity content
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Mol.ppm
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≤10
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Solicitud
El hexafluoroetano de grado electrónico se utiliza principalmente en el proceso de fabricación de materiales semiconductores y dispositivos semiconductores como agente de grabado y agente de limpieza, así como gas aislamiento y refrigerante de alta resistencia dieléctrica.
Embalaje y almacenamiento
El hexafluoroetano se llena en cilindros resistentes a alta presión que está equipado con válvulas de latón con una junta a juego para los accesorios estándar reemplazables CGA tipo 320. Las especificaciones de embalaje se pueden personalizar de acuerdo con los requisitos de los clientes.
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