Sulfur Hexafluoride CAS: 2551-62-4 SF6 99.999%
5n gas de alta pureza especial de alta pureza
Uso de productos
El hexafluoruro de azufre es un gas inerte incoloro, inodoro, no tóxico, no inflamable con un peso molecular de 146.07, un punto de fusión de -51 ° C y un punto de ebullición de -64 ° C. La estructura molecular del hexafluoruro de azufre está dispuesto en un octaedro, la distancia de unión es pequeña y la energía de unión es alta, por lo que su estabilidad es alta. El hexafluoruro de azufre de alta pureza de grado electrónico es un grabado ideal. El hexafluoruro de azufre se puede usar para grabar la superficie del silicio y eliminar las membranas orgánicas o inorgánicas en materiales semiconductores, y se puede usar en la fabricación de fibras ópticas.
Especificación de calidad
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Items
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Units
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Index
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（SF6）Sulfur
hexafluoride
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Vol./%
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≥99.999%
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Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
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Vol.ppm
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≤2
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Nitrogen（N2）≤
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Vol.ppm
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≤2
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Carbon tetrafluoride（CF4）≤
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Vol.ppm
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≤1
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Carbon monoxide（CO）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Carbon dioxide（CO2）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Methane（CH4）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Moisture（H2O）≤
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Vol.ppm
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≤3
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Acidity（以HF计）≤
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μg
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≤0.1
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Hydrolytic fluoride（以HF计）≤
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μg
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≤0.8
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Total impurity content≤
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μg
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≤10
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Particle
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μg
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Supply and demand agreement
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Solicitud
El hexafluoruro de azufre puro alto de grado electrónico es un agente de grabado electrónico ideal, que se usa ampliamente en el campo de la tecnología de microelectrónica, se utiliza como un agente de grabado y limpieza de plasma en la fabricación de grandes circuitos integrados, como chips de computadora y LCD. El hexafluoruro de azufre se usa como fuente de flúor para producir vidrio dopado con flúor en la preparación de fibra óptica. Además, el hexafluoruro de azufre también se puede usar como gas aislante, agente trazador y refrigerante.
Embalaje 、 Almacenamiento
El hexafluoruro de azufre se almacena en cilindros sin costuras estándar, generalmente el volumen del cilindro es de 40L, el tipo de cilindro es CGA590 QF-2 y la presión del cilindro es de 8.0 mPa y 12.5MPa. Las especificaciones de empaque específicas se pueden personalizar de acuerdo con los requisitos del usuario. El hexafluoruro de azufre se almacena en un almacén sombreado y ventilado lejos de la fuente de fuego y calor, la temperatura del almacén no excede los 30 ℃. Debe almacenarse por separado con agente inflamable (combustible) y oxidante. El área de almacenamiento debe estar equipada con equipos de emergencia para emergencia.
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